Der Massenflussregler SFC4000 besticht durch hohe Präzision und Geschwindigkeit über einen grossen Durchflussbereich hinweg.
Basierend auf der einzigartigen CMOSens® Technologie wird das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal direkt auf dem Chip zu einem Signal konvertiert, das im analogen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Der Massenflussregler ist somit unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Interferenzen.
Der SFC4000 verfügt über ein analoges Interface (0-5 V) und ermöglicht eine stabile und genaue Regelung von Gasflüssen. Der Sensor lässt sich mit einer Versorgungsspannung von 14 bis 24 Vdc betreiben.
Spezifikation
Massenfluss
Genauigkeit - 0.2%FS or 2% SP - -
Fluidische Anschlussmöglichkeiten - Swagelock, VCO, VCR, Downmount - -
Generic
Versorgungsspannung - 14 - 26.4 - V -
Durchschnittlicher Versorgungsstrom - 50000 - uA -
Max. Versorgungsstrom - 320000 - uA -
Schnittstellen - Analoger Spannungsausgang - -
Grösse (LxBxH) - 105 x 38.5 x 90.5 - mm³