Massendurchflussregler SFC3000

für Gasdigitalfür OEM

Der digitale Massenflussregler SFC3000 ermöglicht eine schnelle und präzise Steuerung von Gasflüssen über einen weiten Durchflussbereich hinweg. Seine ausgesprochen hohe Genauigkeit und schnelle Einschwingzeit resultieren aus der innovativen CMOSens® Technologie. Das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal wird dabei direkt auf dem Chip zu einem Signal konvertiert, das im digitalen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Des Weiteren können unterschiedliche Gastypen und Kontrollbereiche kalibriert und per Software umgeschaltet werden. Der kleine SFC3000 bietet sich vor allem für hochvolumige OEM Anwendungen an. Er besticht durch hohe Stabilität und Wiederholgenauigkeit und eignet sich besonders für den Einsatz in analytischen Instrumenten. Spezifikation Massenfluss Genauigkeit - ±0.2sccm ± 2% SP - - Fluidische Anschlussmöglichkeiten - Abwärtsmontage - - Generic Versorgungsspannung - 14.25 - 15.25 - V - Max. Versorgungsstrom - 330000 - uA - Schnittstellen - RS485 - - Grösse (LxBxH) - 70 x 25 x 73 - mm³