Spezifikation
Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate - 1, 2 and 5 - slm -
Skalenendwert Durchflussrate - 50, 100, 200 and 500 - sccm -
Genauigkeit - 0.2%FS or 2% SP - -
Maximaler Betriebsdruck - 10 - bar -
Kalibrierung - Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 - flow -
Fluidische Anschlussmöglichkeiten - Abwärtsmontage - -
Generic
Versorgungsspannung - 14 - 26.4 - V -
Durchschnittlicher Versorgungsstrom - 50000 - uA -
Max. Versorgungsstrom - 320000 - uA -
Schnittstellen - RS485 - -
Grösse (LxBxH) - 34 x 25 x 62.2 - mm³