Kammerofen

WärmebehandlungGraphitierungVakuum

CVD-Öfen (Chemische Gasphasenabscheidung, eng. Chemical Vapor Deposition) sind spezielle Öfen für das CVD-Verfahren (Beschichtungsverfahren), eine Technik zur Herstellung von Beschichtungen durch chemische Reaktionen in der Gasphase, z. B. aus MTS CH3SiCl3 Methyltrichlorsilan-Gas. CVD-Anlagen umfassen eine Reaktionskammer, in der Parameter wie Temperatur, Druck und chemische Zusammensetzung des Prozessgases gesteuert werden. CVD ist ein Verfahren zur Beschichtungsherstellung auf der Substratoberfläche durch chemische Reaktionen in der Gasphase. Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein Verfahren, das z. B. zur Herstellung von Schutzschichten (Werkzeugbohrungen) eingesetzt wird. Der CVD-Ofen ermöglicht das Bilden einer Schutzbeschichtung auf den Werkzeugen, was die Werkzeugslebensdauer, -festigkeit und -wirksamkeit bei der Bearbeitung erhöht. Beim CVD-Verfahren können Schichten auf der Werkzeugsoberfläche durch chemische Reaktionen abgeschieden werden, die dessen Eigenschaften verbessern. Diese Beschichtungen bieten eine verbesserte Abrieb- und Hitzbeständigkeit, sowie korrosive Umgebung, was zu einer längeren Werkzeugslebensdauer und einer höheren industriellen Produktionseffizienz führt.