CVI-Öfen (chemische Dampfphaseninfitration, eng. Chemical Vapor Infiltration) sind spezielle Lösungen für das CVI-Verfahren, eine Technik zur Herstellung kohlenstoffhaltiger Materialien, wie z. B. Graphit, durch Kohlenstoff-Sättigung in der Dampfphase.
Sie sind so konzipiert, dass sie eine kontrollierte Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten ermöglichen.
CVD-Anlagen umfassen eine Reaktionskammer, in der Parameter wie Temperatur, Druck und chemische Zusammensetzung des Prozessgases gesteuert werden.
CVD ist ein Verfahren zur Beschichtungsherstellung auf der Substratoberfläche durch chemische Reaktionen in der Gasphase.
Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein Verfahren, das z. B. zur Herstellung von Schutzschichten (Werkzeugbohrungen) eingesetzt wird. Der CVD-Ofen ermöglicht das Bilden einer Schutzbeschichtung auf den Werkzeugen, was die Werkzeugslebensdauer, -festigkeit und -wirksamkeit bei der Bearbeitung erhöht. Beim CVD-Verfahren können Schichten auf der Werkzeugsoberfläche durch chemische Reaktionen abgeschieden werden, die dessen Eigenschaften verbessern. Diese Beschichtungen bieten eine verbesserte Abrieb- und Hitzbeständigkeit, sowie korrosive Umgebung, was zu einer längeren Werkzeugslebensdauer und einer höheren industriellen Produktionseffizienz führt.