Röntgen-Photoelektronen-Spektrometer

LaborF&EMCP

Ultimate Imaging XPS Auflösung: 500 nm / 100 nm (Labor / Synchroton) Einfache Probennavigation durch PEEM-Technologie Kleinpunktspektroskopie Aberrationskorrigierter Energiefilter Monochromatische Hochleistungs-Röntgenquelle ARUPS mit ultimativer Winkelaufnahme Erstellt in Zusammenarbeit mit der FOCUS GmbH Die NanoESCA bietet chemisches Zustandsmapping mit unübertroffener XPS-Lateralauflösung (<500 nm unter Laborbedingungen). Das Gerät ermöglicht die Analyse kleinster Probenstrukturen, die chemische Zustandsinformationen liefern, die über die Grenzen anderer hochauflösender Techniken wie Scanning Auger und TOF SIMS hinausgehen Die Echtzeit-Probennavigation wird durch die PEEM-Technik gewährleistet, die im Sekundärelektronenbereich arbeitet. Der PEEM-Modus ermöglicht das einfache Auffinden kleiner Merkmale auf einem großen Probenbereich und bietet eine hohe Auflösung (< 50 nm Auflösung). Darüber hinaus liefert der PEEM-Modus quantitative Informationen über die sehr lokale Arbeitsfunktion und die lokale Probenladung. Die spektroskopischen Fähigkeiten der NanoESCA können durch die ARUPS-Option ergänzt werden, die es ermöglicht, den k-Raum aus m-Bereichen zu analysieren, z.B. kleine Körner in einer polykristallinen Oberfläche mit höchster Winkelakzeptanz. Für ihr revolutionäres Design erhielt die NanoESCA den R&D 100 Award 2007.