Ionenquelle FDG15

Spezifikation Energiebereich 400 eV bis 5 keV (10 eV optional) Max. Strahlstrom > 10 μA @ 5 keV > 100 nA @ 15 eV (10 eV Option) Strahldurchmesser zwischen 300 μm und 2′′ @ 5 keV Integrierter Port Aligner Ja Kathode Yttriumoxid beschichtet Wolfram (optional) Iridiumfaden Arbeitsabstand 30 mm - 300 mm - 300 mm Eintauchtiefe 173 mm Kammerdruck während des Betriebs 5x10-7 mbar - 1x10-8mbar - 1x10-8mbar Montageflansch CF 35 / 2¾′′ OD OD Elektronik-Schnittstelle TCP/IP Software-Steuerung LabVIEW™- basierte Software "ProIon" Das FDG 15 verwendet die gleiche bewährte Strahlerzeugung wie das FDG 150 und kann als Ersatz für alle Anwendungen eingesetzt werden, bei denen z.B. die weit verbreitete, aber nicht mehr verfügbare ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON) in der Vergangenheit eingesetzt wurde. Darüber hinaus verfügt das FDG 15 über eine flexiblere Ionenoptik zur Anpassung an größere Arbeitsabstände und eine optionale Ionenflussstabilisierung.