Spezifikation
Energiebereich
400 eV bis 5 keV (10 eV optional)
Max. Strahlstrom
> 10 μA @ 5 keV
> 100 nA @ 15 eV (10 eV Option)
Strahldurchmesser
zwischen 300 μm und 2′′ @ 5 keV
Integrierter Port Aligner
Ja
Kathode
Yttriumoxid beschichtet Wolfram
(optional) Iridiumfaden
Arbeitsabstand
30 mm - 300 mm - 300 mm
Eintauchtiefe
173 mm
Kammerdruck während des Betriebs
5x10-7 mbar - 1x10-8mbar - 1x10-8mbar
Montageflansch
CF 35 / 2¾′′ OD OD
Elektronik-Schnittstelle
TCP/IP
Software-Steuerung
LabVIEW™- basierte Software "ProIon"
Das FDG 15 verwendet die gleiche bewährte Strahlerzeugung wie das FDG 150 und kann als Ersatz für alle Anwendungen eingesetzt werden, bei denen z.B. die weit verbreitete, aber nicht mehr verfügbare ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON) in der Vergangenheit eingesetzt wurde.
Darüber hinaus verfügt das FDG 15 über eine flexiblere Ionenoptik zur Anpassung an größere Arbeitsabstände und eine optionale Ionenflussstabilisierung.
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