Ventil-Arsen-Cracker

Tiegelvolumen 300 cm³ oder 500 cm³ Tiegelvolumen Große Ventilöffnung Präzise und sehr schnelle Flussregelung Hochreine Betriebsbedingungen Einfache Handhabung und Nachfüllverfahren Integrierter Wasserkühlmantel Die Valved Arsenic Cracker Source wurde für das Hochleistungswachstum von III-V-Materialien entwickelt. Es ist hochspezialisiert für die Sublimation von As4 oder As2 und kombiniert ein großes Tiegelvolumen von 300 cm³ oder 500 cm³ mit einer präzisen und schnellen Flusskontrolle. Eine Flusskontrolle über einen Druckbereich von mehr als zwei Größenordnungen wird durch den integrierten Ventilmechanismus ermöglicht. Das typische Ein-/Aus-Verhältnis liegt bei etwa vier Größenordnungen bei der Druckmessung. Durch die große Ventilöffnung ermöglicht es ein effizientes Pumpen des Arsenspeichers in die geöffnete Ventilstellung. Die Ventileinheit kann manuell oder mit einem Ventilsteuergerät bedient werden. Der integrierte Wasserkühlmantel und die Verwendung ausgewählter Materialien für Zelle und Ventileinheit garantieren hochreine Betriebsbedingungen. Die Betriebsart der Quelle kann durch die Betriebsbedingungen der integrierten Crackereinheit leicht von As4 auf As2 Wachstum umgestellt werden.