Ionenstrahlverdampfer Triple EFM

Prozess

Verdampfungszone 8.5, 11 und 15 Millimeter ein Arbeitsabstand 93 Millimeter (10 Millimeter) 3 unabhängige Zellen/Heizfäden schmelzen Monitoren kein übersprechen während des zusammengesetzten Wachstum Hinter-Ladens von evaporants, die EIN FOKUS-Produkt auf dem Konzept des Entwurfes der EFM 3 Verdampfer gründete, das dreifache EFM kennzeichnet drei unabhängige Zellen für die Verdampfung einer breiten Strecke der Materialien von den Leitungen, von den Stangen oder von den Tiegeln. Jede Zelle wird mit einem unterschiedlichen Heizfaden und Hochspg Versorgungsmaterial ausgerüstet, um übersprechen (300 W jedes) zu verhindern. Drei unabhängige Flußmonitoren ermöglichen dem kontrollierten stöchiometrischen Wachstum der Mittel. Der integrale Multiposition Blendenverschluß ermöglicht dem exakten Dosieren und simultaner oder nachfolgender Verdampfung (?öffnen Sie? Positionen: 1, 2, 3, 1+3, 2+3, 1+2+3). Der Absetzungbereich wird durch die Wahl von einer von drei Blendenöffnungen geregelt. Die drei Verdampfungziele werden unabhängig an drei 25 Millimeter sichverschiebt für Ausrichtung in Bezug auf den Heizfaden angebracht. Diese Eigenschaft erlaubt Verdampfung von den Stangen mit einem Multitasche Instrument. Die Zielmaterialien können von der Rückseite (3x Nanowatt 16 CF) leicht wieder gefüllt werden.