Ionenstrahlverdampfer EFM 6

Prozess

Verdampfungszone > 50 der Tiegel-capacitiy bis Millimeter Verdampfung 10 cm3 von den Leitungen, von den Stangen oder von der Tiegel integrierten abgekühlten Blendenverschluß Wasserkühlung für minimalen Druckaufstieg EIN FOKUS-Produkt der EFM 6 Verdampfer erweitert das EFM Warenangebot auf eine größere Skala. Mit einem Nanowatt 63 niedrigen Flansch der CF (4.5 " Od) und einer Tiegelkapazität von bis 10 cm3, die EFM 6 Einflüsse ungefähr 10mal so viel Material wie das EFM 3. Bereits in einem kurzen Arbeitsabstand ist die Verdampfungszone größer als 50 Millimeter im Durchmesser, der das EFM 6 ideal entsprochen für Substrate zwischen 2 " und 4 bildet ". Einen integrierten Fluß kennzeichnend, überwachen Sie und Blendenverschluß, das EFM 6 ist ein einzigartiges Werkzeug in der mittelgrossen Verdampferstrecke, ein nicht nur verwendbar für das Wachstum der Vor-monomolekularer Filme aber auch für starke Bondauflagen etc. Für ausgedehnte Service-Zyklen wird das EFM 6 mit einem doppelten Heizfaden ausgerüstet. Die erforderliche hohe Energie, die großen Tiegel zu heizen wird durch das EVC 1200 geliefert.