Elektronenstrahlquelle für Rasterelektronenmikroskop SEM 20

Elektronquelle für SEM und Schneckenwelle experimentiert mit Punktgröße besser als 20 Nanometer bei 25 Lichtstrahlstrom Na des KV Lichtstrahls voltage/0.5, in 25 Millimeter einem Arbeitsabstand. 1 - das 25 Kev Thermal fangen Emissionelektronquelle (Schottky Emitter), gegenwärtiges Na >100 des maximalen Lichtstrahls auf. Elektrostatische fokussierenspalte mit doppeltem Objektivsystem, Lichtstrahlausrichtung Quadrupoles, Abdeckungen des Lichtstrahls und octopole für Ablenkung und stigmation. Lichtstrahlstrom ist ununterbrochen durch eine Elektron-optisch Variable Blendenöffnung justierbar. Schloß gegenwärtiger Maß-Service des internen Lichtstrahls, indem er auf eine Faraday Schale Blendenöffnung löschte, an einen B Wassertank an. Pneumatisch bearbeitetes Spalte Abschaltventil. Erforderliches Quellbereich Vakuum <1 x 10-8 mbar. Pumpende Port-Nanowatt 35 CF (2 ?Od) an der Seite des Quellraumes. Bakeable zu 180 C. Befestigungsflansch Nanowatt 63 CF (4? Od).