(Prüfgasbefeuchtung) ohne Sondenprüfplatte
(Prüfgasbefeuchtung) mit Sondenprüfplatte
Mit der PS203 F können Prüfungen von Halbleitermesssystemen unter Kontrolle der Prüfgasfeuchtigkeit durchgeführt werden. Hierbei wird das Prüfgas im System befeuchtet. Geregelt wird diese Befeuchtung über einen Beipass. Der entstandene Befeuchtungswert des Gases wird über das Feuchtemessgerät angezeigt.