Glas FOTURAN® II

Produktinformation Fotosensible Glaswafer FOTURAN® II ist die verbesserte Version des bekannten fotosensiblen Glases FOTURAN®, welches nun in einem kontinuierlichen Schmelzprozess mit optimaler Homogenität hergestellt wird. FOTURAN® II ist ein technisches Glas, das nach UV-Belichtung und Temperaturprozessen kristallisiert. Die kristallisierten Bereiche können mit einem hohen Aspektverhältnis geätzt werden, sodass sehr feine Strukturen und Bohrungen erzeugt werden können. Nach einem optionalen zweiten Belichtungs- und Temperungsschritt kann FOTURAN® II in eine Glaskeramik umgewandelt werden. Strukturierte FOTURAN®-Substrate können in Standardverfahren für Fertigung und „Packaging“ von Halbleiter-Chips eingesetzt werden. Die Strukturierung funktioniert ohne Einsatz von Fotolacken und ist mit Standardausrüstung der Halbleiterindustrie möglich. Vorteile Vorteile • Hohe Homogenität: verbessertes Fertigungsverfahren ermöglicht gleichmäßige und reproduzierbare Fotosensibilität • Extrem feine Strukturen mit einem hohen Aspektseitenverhältnis möglich • Strukturierungen ohne Fotolacke möglich • Exzellente Transmissionseigenschaften (im sichtbaren sowie nicht-sichtbaren Spektrum) • Ideal für den Einsatz in der Biotechnologie: temperaturbeständig und chemisch stabil • Umweltfreundlich: erfüllt die Bestimmungen der EU-RoHS und EU-REACH • Belegte Erfolgsgeschichte: seit mehr als 30 Jahren bewährt, zudem viele hochaktuelle Veröffentlichungen über die Strukturierung von FOTURAN® frei verfügbar Anwendungen • Halbleiter: Interposer • Telekommunikation: Optische Wellenleiter / optische Verbindungen • MEMS-Sensoren: Substrat und Funktionselement