Glas MEMpax®

Ultradünnes Borosilikatglas MEMpax® ist ein Borosilikatglas mit feuerpolierter Oberfläche. Es hat ähnliche chemische und physikalische Eigenschaften wie das bekannte SCHOTT Borofloat® 33. Dabei ist MEMpax® aber in viel geringeren Dicken erhältlich und ermöglicht dünne Wafer, die dank der hervorragenden Oberflächenqualität nicht mehr geschliffen und poliert werden müssen. MEMpax® kann überall da eingesetzt werden, wo extrem dünne Borosilikatgläser benötigt werden. Der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient von MEMpax® entspricht dem von Silizium, daher ist dieses Glas hervorragend für das anodische Bonden geeignet. Seine niedrige Autofluoreszenz in Verbindung mit seiner hervorragenden Oberflächenqualität, Planität und Homogenität eröffnet für MEMpax® zahlreiche Einsatzmöglichkeiten in MEMS-und Biotechnologie. Dank seines geringen Alkaligehalts wirkt MEMpax® als hochwertiger Isolator. Aus diesem Grund ist MEMpax® ein äußerst geeignetes Material für Anwendungen, die nicht-leitende Eigenschaften bei hohen Temperaturen benötigen (bis 450 °C). Vorteile Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) • Linearer Wärmeausdehnungskoeffizient entspricht dem von Silizium • Geeignet für das anodische Bonden • Dünne Borosilikatglas-Wafer ohne Polieren • Hohe thermische und chemische Beständigkeit Biotechnologie • Hohe Transmission • Erhältlich in verschiedenen Dicken • Geringe Autofluoreszenz • Sehr gute Oberflächenqualität Technische Daten Abmessungen : 2" bis 12", rund oder rechteckig Oberflächenrauheit Ra : < 0,5 nm Dicken* : 0,1 mm bis 0,5 mm Standard-Dicken* : 0,2 mm, 0,3 mm, 0,4 mm, 0,5 mm Lichttransmission ΤvD65 (Dicke = 0,5 mm) : 92,9 %