3-Achsen-Positioniersystem
Portalfür Wafer-Inspektion und MetrologieHochpräzision

3-Achsen-Positioniersystem - SCHNEEBERGER AG Linear Technology - Portal / für Wafer-Inspektion und Metrologie / Hochpräzision
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Eigenschaften

Achszahl
3-Achsen
Aufbau
Portal
Verwendung
für Wafer-Inspektion und Metrologie
Weitere Eigenschaften
Hochpräzision

Beschreibung

Kundenspezifische Lösungen für Flat Panel Displays Unsere Lösung für die anspruchsvolle FPD-Branche deckt alle Verfahren von der automatischen optischen Inspektion (AOI) über Array-Prüfung bis hin zu PhotoSpace-Messungen ab. Mehr als 800 Systeme sind weltweit installiert worden. Einige Systeme werden direkt in Asien hergestellt und montiert. Um die Gesamtkosten für SCHNEEBERGER-Innovationen zu verringern, haben wir unsere eigene Alternative für Granit entwickelt: Mineralguss.Durch die sehr guten Dämpfungseigenschaften des Mineralgusses wird beispielsweise das Gesamtgewicht des Systems reduziert, wodurch sich Abwicklungs- und Transportkosten verringern. Erfahren Sie mehr über Mineralguss ... Spezifikationen für Großformatsysteme am POI* - Konfiguration: XYZ oder + Z (Portal) - Verfahrweg: bis zu 3500 x 2700 mm - Genauigkeit: ≤ 10 µm (über den gesamten Messbereich, gemappt) - Reproduzierbarkeit: ≤ 2 µm - Stabilität: ≤ 10 nm (innerhalb von 1s ptp) - Einschwingzeit: < 500 ms für 300 mm - Cst-Geschwindigkeit: < 0,01 % bei <100 mm/s - Geradheit: < 20 µm über 3000 mm - Ebenheit: < 20 µm über 3000 mm

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.