Be- und Entladesystem / für Entlader

für Wafer

Die Wafer/Zellen werden zwischen den einzelnen Prozessschritten entweder manuell oder mittels des Montrac Systems in speziell entwickelten SCHMID Carriern transportiert. Die vollen Carrier werden im Loader reihenweise positioniert und zur Übergabeposition gefahren. Hier werden die Wafer/Zellen über ein Indexsystem aus den Carrierfächern herausgefahren und anschließend der Prozessmaschine zugeführt. Umgekehrt nimmt der Unloader die prozessierten Wafer/Zellen auf und sichert eine gleichmäßige Befüllung der SCHMID Carrier. Hierzu werden die Wafer/Zellen auf geschwindigkeitsgesteuerten Transportbändern zu Reihen synchronisiert und schrittweise über ein Indexsystem in die leeren Carrierfächer eingelagert. Höchster Durchsatz auf kleiner Fläche Vibrationsfreier und sanfter Transport Passend für verschiedene Wafer-/Zellgrößen Geringe Bruchrate < 0,1 % Geeignet für sehr dünne Wafer/Zellen ab 120 µm