Die Ätz-Module verfügen über oszillierende Düsen, die entweder parallel oder im rechten Winkel zur Förderrichtung angeordnet sind. Dadurch erreicht SCHMID eine gleichmäßige Ätzrate auf der gesamten Plattenfläche. Eine permanente Überwachung der Prozessparameter garantiert ideale Ätzergebnisse.
Hohe Ätzqualität bei hohem Ätzfaktor durch Einsatz des FineLine-Sprühsystems
Gleichmäßiges Ätzbild durch intermittierendes Ätzen mit Einzeldüsenansteuerung
Stabiler Prozess