Reinraum System für Produktion Halbleiter Optische Systeme
ISO-Reinraumklasse 6 (US. Fed. Stand. Kl. 1'000)
•freitragendes, modulares Baukastensystem
•Verbundplatten-Wandfüllungen
•großflächige Reinraumfenster
•innovatives Dichtsystem
•U15 ULPA Hochleistungs-Filter-Fan-Module
•voll integrierte, flächenbündige Reinraumleuchten
•voll integrierte Umluft- und Rückluftführung
•voll integrierte Medienversorgungen
•Personenschleusen Reinraumschiebetüren mit Sensitivtastern und gegenseitiger Türverriegelungs-Steuerung
•Materialschleuse mit Reinraum Schnelllaufrolltoren
•voll integrierte Steuerung