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Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD PD-52 seriesSolar
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Eigenschaften
- Methode
- Hoch -PE-CVD
- Anwendung
- Solar
Beschreibung
Hauptsächlich verwendet für die Erzeugung von Antireflexionsschichten höchster Qualität bei der Herstellung von kristallinen Silizium-Solarzellen und für die Abscheidung von Passivierungsschichten auf der Rückseite von Solarzellen.
Graphitschiffchen und Wafer bereit→ Stickstoffeinlass→ Graphitschiffchen einlegen→ Vakuumieren, Druckprüfung →Ammoniakvorreinigung und -prüfung→ Rohr vakuumieren, Dichtigkeitsprüfung, konstante Temperatur→ Vorbeschichtung → Beschichtung→ Vakuumieren, Druckprüfung→ Rohrreinigung und Stickstoffeinlass→ Graphitschiffchen entladen.
- Kompatibel mit SiOxNy PERC Prozess.
- Doppelte Kühlwasserflansch-Dichtungstechnologie.
- Patentierte interne Heiztechnologie.
- Integrierter Hochgeschwindigkeits-Mechanismus zum Schieben von Modulen.
- Graphitschiffchen berührungslos mit Quarzrohr.
- MES-Software mit unabhängigem geistigen Eigentumsrecht.
- Eigenständig entwickeltes CCC-System
- Schnelle Beschichtungstechnologie.
- Alarmschutz bei Überhitzung, Thermoelementbruch und Bootskollision.
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Horizontal Furnaces Series
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.