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Solar-Auftragsmaschine LD-42 series
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Eigenschaften
- Anwendung
- Solar
Beschreibung
Abscheidung von Tunneloxidschichten, i-Poly und D-Poly für TOPCon-Solarzellen.
- Niederdruck- und Heißwandverfahren mit besserer Schichtgleichmäßigkeit und guter Kompaktheit.
- LPCVD-Verfahren, dicht beladene Substrate haben wenig Einfluss auf die Beschichtungsrate, mit großer Beladungskapazität in einem einzigen Rohr.
- Mehr Temperaturzonen, um die Gleichmäßigkeit zwischen Wafern zuverlässig zu gewährleisten.
- Unabhängig einstellbarer, segmentierter Lufteinlass, um den Luftstromverarmungseffekt zu kompensieren.
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Horizontal Furnaces Series
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.