Automatisches Handlingsystem SMZ-IV

modularInlinefür Wafer

Inline-Ausrüstung, die mit einem oder zwei Boot-Boot-Schnittstelle PECVD-Anlage integriert werden kann und realisieren den Transport von Graphit Boot und Wafer laden & entladen automatisch. Diese Anlage kann im Prozess vor und nach dem PECVD-Prozess eingesetzt werden. Sie kann die Wafer von der Kassette in das Graphitboot laden und das fertige Boot zur PECVD-Anlage transportieren oder das bearbeitete Boot zu dieser Anlage transportieren und die Wafer automatisch vom Graphitboot in die Kassette entladen. - Mit modularem Design, das inline mit einem oder zwei Sätzen von PECVD-Anlagen integriert werden kann. - Mit PC-Steuerung, Tablet-Computer-Betrieb, die einfach und klar für den Betrieb ist. - Online-Mikrorisserkennung, Schichtdickenerkennung, Farbprüfsystem und automatischer Umgang mit NG-Wafern (gegen Aufpreis). - Inline/Offline-Konfiguration. - Kompatibel mit AGV, RFID-System, MES-Funktion optional.