Die Edelgasreinigungsapparate PS5 MegaTorr sind die Empfänger-ansässigen Heizreinigungsapparate, die speziell entworfen sind, um Ultrahochreinheit (UHP) Helium- oder Argongas für Halbleiteranwendungen zur Verfügung zu stellen. Die patentierte Empfängerlegierung funktioniert bei erhöhten Temperaturen, um Verunreinigungen zu entfernen, indem sie irreversible chemische Bindungen bildet. Die entfernten Verunreinigungen werden nicht unter allen Umständen freigegeben, wenn der Reinigungsapparat innerhalb der Spezifikation betrieben wird. AusgangStörstellenniveaus für O2, H2O, Co, CO2, H2, CH4 (THC oder Gesamtkohlenwasserstoffe) und N2 werden auf Teilen pro Milliarde Konzentrationen verringert. Diese Reinigungsapparate sind entworfen, um mehrfache Jahre zu dauern, aber die Lebenszeit hängt von den EinlassStörstellenkonzentationen und von der durchschnittlichen Strömungsgeschwindigkeit ab. Treten Sie bitte mit der Fabrik für Lebenszeitberechnungen in Verbindung. Sobald die Spalte verbraucht wird, kann sie durch eine neue Spalte, während einer neuen Lebenszeit ersetzt werden. Hinter den erhitzten Empfängerspalten werden Wasserstoffverunreinigungen durch eine patentierte Empfängerzweitenspatrone der umgebenden Temperatur entfernt, bekannt als die Wasserstoff-Abbau-Einheit (HRU).
---