Der hohe Fluss MonoTorr-Reinigungsapparat liefert unter--ppb Verunreinigungsabbau in Wasserstoff, in Stickstoff und in Edelgase an Strömungsgeschwindigkeiten slpm bis 150. Jeder Reinigungsapparat kommt gekapselt und ist für Wandmontage bestimmt. Standardausrüstungen umfassen eine erschöpfte Einschließung mit unterschiedlicher Bucht für Elektronik, unterschiedlichen Türen für Gasrohrleitungssystem u. -elektronik und einem Auspuffkragen mit Ventilator. Ein optionales Paket (für Wasserstoffeinheiten) umfasst einen Wasserstoffleckdetektor mit Abschaltautomatik, elektronischer Isolierung und einem Stickstoffreinigungssystem mit Strömungsmesswertgeber.
Heizempfängerreinigungsapparate stellen den komplettesten Abbau von Verunreinigungen für Edelgase, Stickstoff und Wasserstoff zur Verfügung. Der Metallempfänger bildet eine irreversible chemische Bindung mit allen Oxid-, Karbid- und Nitridverunreinigungen. Das MonoTorr ist die einzige Reinigungsapparattechnologie, die zum Entfernen von Kohlenwasserstoffen und von Stickstoff von den Prozessgasen fähig ist.
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