Filter-Gasreiniger PS3-MT3 SeriesStickstoff
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Eigenschaften
- Typ
- Filter
- Weitere Eigenschaften
- Stickstoff
- Luftdurchsatz
Max: 5 l/min
(1,3 us gal/min)Min: 0 l/min
(0 us gal/min)
Beschreibung
Forschung hat gezeigt, dass Gasreinigung konsequente und wiederholbare Prozessleistung für die Halbleiterbauelementherstellung sicherstellt. Punkt der Gebrauchs-Reinigung lokalisiert kritische Prozessbereiche von den Hausgasverteilungssystemen und schützt sich gegen Gasreinheitsumkippen und -Kreuz-Kontamination.
Die MonoTorr-Reinigungsapparate stellen wesentliche Reinigung für Stickstoff und Edelgase an Strömungsgeschwindigkeiten slpm bis 5 zur Verfügung.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.