Stickstoff-Gasreiniger PS3-MT3 Series

Forschung hat gezeigt, dass Gasreinigung konsequente und wiederholbare Prozessleistung für die Halbleiterbauelementherstellung sicherstellt. Punkt der Gebrauchs-Reinigung lokalisiert kritische Prozessbereiche von den Hausgasverteilungssystemen und schützt sich gegen Gasreinheitsumkippen und -Kreuz-Kontamination. Die MonoTorr-Reinigungsapparate stellen wesentliche Reinigung für Stickstoff und Edelgase an Strömungsgeschwindigkeiten slpm bis 5 zur Verfügung.