Stickstoff-Gasreiniger PS8 Series

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Die Stickstoff PS8 MegaTorr Reiniger sind verbesserte, optimierte Designs, die eine Sub-ppb-Leistung auf kleiner Grundfläche bieten. SAES Pure Gas verfügt über jahrelange Erfahrung im Design von Ultrahochreinen (UHP) Rohrleitungen, fortschrittlichen Prozessmaterialanalysen und modernsten integrierten Steuerungssystemen, um diese Produktfamilie von Luftreinigern zu entwickeln, die den Anforderungen an niedrige Investitionskosten, hohe Zuverlässigkeit und hohe Leistung gerecht werden. Die PS8-Serie verwendet zwei Adsorptionsverfahren, die speziell entwickelt wurden, um ultrahochreines Gas für Halbleiteranwendungen bereitzustellen. Die Verunreinigungswerte für CO, CO2, H2, H2O und O2 im Auslass werden auf unter die Werte von ppb (parts per billion) reduziert.