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AL Auftragsmaschine PD-520 seriesDünnschicht
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Eigenschaften
- Methode
- ALD
- Art der aufgebrachten Schicht
- Dünnschicht
Beschreibung
AlO+SiN-Dünnschichtabscheidung.
- Atomlagenabscheidungsverfahren mit besserer Schichtgleichmäßigkeit.
- Mehrschichtige Dünnschichten werden in der gleichen Prozessausrüstung oder im gleichen Ofenrohr abgeschieden, was die Prozessschritte und die Bruchrate der Wafer reduziert und die Ausbeute effektiv verbessert.
- Unabhängige Forschung und Entwicklung von Flüssigkeitsquellen für die Dampfzufuhr und die Technologie für den schnellen Wechsel des Präkursors.
- Geeignet für die Abscheidung von Passivierungsschichten für verschiedene Ausgangsstoffe und Materialien, mit einem großen Spielraum für die Prozesserweiterung.
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Horizontal Furnaces Series
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.