Diese Anlage wird zum Polieren, Ätzen und Reinigen von diffundierten Wafern verwendet und ist auch für die Texturierung und Reinigung von bifacialen Solarzellen geeignet.
- Durchsatz: 400 Stück/Charge, 8000 Stück/Stunde.
- Kompatibel mit dem Polieren der Rückseitenätzung und der Texturierung der monokristallinen Rückseiten.
- Geeignet für verschiedene Zusatzstoffe.
- Waferdicke bis zu 120 um.
- Mit Trockenreinigungsbereich und Selbstreinigungssystem.
- Schneller Inline-Badwechsel.
- Erhältlich mit MES, RFID-System, Inline-Gewichtsprüfung optional.
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