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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
Automatisierungsystem für Produktion RTA-PECVD-6000-16000für Prozess
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Eigenschaften
- Merkmal
- für Prozess, für Produktion
Beschreibung
Durchsatz: 6000-16000
Bruchrate: ≤0,04%@166; 0,04%@182; 0,04%@210
Betriebszeit: ≥99%
Eigenschaften:
Optionales Be- und Entladen getrennt oder integriert
Segmentierter, geschweißter Stahlrahmen, stabile und zuverlässige Struktur
Optionaler automatischer Abtransport von Schutt
Unterstützt MES-Schnittstelle und Ferndiagnosefunktion
Intelligente IGV-Schnittstelle
Intelligente Ausrüstung, OEE-Statistiken und Energieverbrauchsanalyse
Kompatibel mit Wafern von M10, M12 und 220-230 mm, Vollformat und Halbformat
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.