Automatisierungsystem für Prozess RTA-DF-12000

Durchsatz: 12000 Bruchrate: 0.01%@182; 0.02%@210 Betriebszeit: ≥99% Eigenschaften: Wahlweise Gantry-Lösung oder 6-Achsen-Roboter-Lösung Linearmotor-Portalrahmen-Design, hohe Geschwindigkeit, stabil, zuverlässig Optionale visuelle Blumenträger Fehlteilerkennung, Quarzboot Trümmererkennung, Quarzboot Positionierung Segmentierter, geschweißter Stahlrahmen, stabile und zuverlässige Struktur Unterstützt MES-Schnittstelle und Remote-Debug-Funktion Intelligente IGV-Schnittstelle Intelligente Ausrüstung, OEE-Statistiken und Energieverbrauchsanalyse Kompatibel Wafer von M10, M12 und 220-230mm, volle Größe und halbe Größe