Durchsatz: 5000-12000 Wafer/Stunde (anpassbar an unterschiedliche Anforderungen an die Produktionskapazität)
Bruchrate: ≤0,01%
Betriebszeit: ≥98.5%
Eigenschaften:
SechsNy&Al2O3-Schichtabtrag für TOPCon, BC, HJT Hocheffizienz-Solarzellen
Flexibler Prozessablauf
Effiziente Spülung und Trocknung
Hoher Durchsatz, niedriger CoO
Intelligente Ausrüstung, Energieverbrauchsstatistik und Analysefunktion
---