Massenspektrometer AZX400

XRFWDRFAF&E

Die wellenlängendispersive (WD) RFA-Technik ermöglicht die Elementaranalyse (Zusammensetzung und Schichtdicke) mit hoher Energieauflösung. Das Rigaku AZX 400 ist ein sequentielles WDXRF-Spektrometer, das speziell für die Handhabung sehr großer und/oder schwerer Proben entwickelt wurde. Der AZX 400 nimmt Proben bis zu einem Durchmesser von 400 mm, einer Dicke von 50 mm und einer Masse von 30 kg auf und ist ideal für die Analyse von Sputtertargets, Magnetplatten oder für die Mehrschichtfilmmesstechnik auf Si-Wafern. Das AZX 400 ist ein ideales F&E-System, das die größte analytische Flexibilität bietet und den Elementbereich von Be bis U mit Spotgrößen bis hinunter zu 0,5 mm Durchmesser für ortsaufgelöste (Uniformität) Messungen abdeckt. Die optionale Videokamera und das Beleuchtungssystem ermöglichen die Betrachtung des spezifischen Messpunktes für QC- oder FA-Anwendungen. Der optionale Wafer-Autoloader ermöglicht die Handhabung mehrerer Wafer aus einer 300mm FOUP oder 200mm offenen Kassette. Merkmale Große Probenanalyse bis zu 400 mm (Durchmesser), 50 mm (Dicke), 30 kg (Masse) Flexibles Probenadaptersystem mit Einsätzen (nach Maß) Messfleck 30 mm - 0,5 mm Durchmesser mit 5-stufiger automatischer Auswahl Die Mapping-Fähigkeit ermöglicht die Überprüfung der Einheitlichkeit Allgemeiner Einsatz: Kann Be to U durch hochauflösende, hochpräzise WDXRF analysieren Breites Spektrum an Zusammensetzung (ppm bis zu zehn Prozent) und Dicke (sub Å bis mm) Die Software führt den Benutzer durch die Mess- und Analyseeinrichtung Verfügbare SEMI S2 und S8 Konformität und CE-Kennzeichnung Geringer Platzbedarf: 50% Platzbedarf gegenüber dem Vorgängermodell