Prozessanalysator SSD-MSF

Röntgen

SSD-MSF Der SSD-MSF von Rigaku ist ein Röntgenspannungsanalysator, der mit dem Halbleiterdetektor D/teX Ultra1000 1D ausgestattet ist, der mittels Röntgenstrahlen die während des Herstellungsprozesses in einem Material angesammelte Eigenspannung zerstörungsfrei misst. Der automatische Z-Achsenständer ermöglicht die Messung von großen und kleinen Proben mit einfacher Bedienung. Dieses Spannungsanalysegerät hat eine zwanzigmal höhere Messgeschwindigkeit als die von Szintillationszählern und doppelt so schnell wie positionssensitive Proportionalzähler (PSPC's). Hochempfindlicher, energetisch hochauflösender, eindimensionaler Halbleiterdetektor D/teX Ultra1000 Der D/teX Ultra1000 bietet Profile mit hohem Peak-Hintergrundverhältnis und einer Detektionseffizienz, die 1,7 mal höher ist als bei herkömmlichen PSPCs. Jede Stichprobengröße von großen Strukturen bis hin zu kleinen Proben Der automatische Z-Achsenständer erweitert die messbare Probengröße auf bis zu 1100 mm Höhe und bis zu 530 mm Armlänge.