Röntgen-Inspektionsmaschine MFM310

für WaferHochauflösung

MFM310 Das Rigaku MFM310 führt die Hochpräzisionsmaße durch, die durch die optischen oder Ultraschalltechniken nicht möglich sind. Dieses hoch entwickelte Röntgenstrahlmetrologiewerkzeug lässt es praktisch Hochdurchsatzmaße auf dem Produkt und umfassenden Oblaten durchführen, die von den ultradünnen einlagigen Filmen bis zu mehrschichtigen Stapeln reichen. Entworfen für Großserienherstellung Das MFM310 ist mit Großserien-200mm und 300mm entworfen, die im Verstand herstellen: Hochdurchsatzstärkemaß durch XRR und XRF, Niedrigverschmutzungsoblatenbehandlung und Anerkennung-ansässige Positionssteuerung des Musters für Produktoblate Maße, CE-Kennzeichnung und S2/S8 Befolgung für Halbleiterproduktions-Reinraumoperation, Befolgung GEM-300/HSMS und Produktionsautomatisierungsstandards, Hochzuverlässigkeitsmaschinenleistungs- und Energien-Leistungsaufnahme und Kosten des Besitzes. COLORS™, Technologie ermöglichend COLORS™-Röntgenstrahloptik wurden durch Rigaku entwickelt, damit das MFM310 Maßen von den kleinen Bereichen ermöglicht. FARBEN strahlen Modulpaare eine Vielzahl von XRF-Erregungsquellen mit Optik und werden optimiert, um hohe Helligkeit in den kleinen Stellen für eine Vielzahl von Dünnfilmanwendungen zur Verfügung zu stellen. Mit seinem eigenen Röntgenstrahloptikgeschäft ist Rigaku sich entwickeln und Röntgenstrahlquellen für Bedarf des gegenwärtigen und zukünftigen Marktes herzustellen gut platziert. Eigenschaften Mikro-Stelle Röntgenstrahlstrahlen und -Mustererkennung Hoch-Durchsatz, Produktoblatenmaße Breite Palette von Materialien und von Anwendungen Hohe Auflösung und Präzision, die Stärken von Ångstroms zu den Mikrometern umfassen Für 200mm und 300mm Oblaten Verfügbar mit 300mm Produktionsautomatisierung Entwurf HALB basiert auf S2 und HALB S8