Inkrementaler Lineargeber TONiC™ UHV RELM20

optischkontaktlosanalog

Was ist TONiC UHV? Mit TONiC UHV lässt sich das extrem kompakte, berührungslose Messsystem von Renishaw bei UHV-Anwendungen einsetzen, wobei Anwender von einer verbesserten Bewegungsführung profitieren. TONiC bietet Geschwindigkeiten bis 10 m/s und, in Verbindung mit dem Ti Interface, Auflösungen bis 1 nm sowohl für lineare als auch rotatorische Anwendungen. TONiC Systeme lassen sich dank großzügiger Einstelltoleranzen und Kalibrierung per Knopfdruck schnell und einfach installieren. Die dynamische Signalverarbeitung von TONiC gewährleistet eine verbesserte Signalstabilität mit einem extrem geringen zyklischen Fehler von typischerweise <±30 nm zur Erzielung einer überragenden Regelgüte. Was ist ein RELM20 Maßband? RELM20 ist ein Maßstab aus ZeroMet™, einer Legierung aus Nickel und Eisen mit geringer thermischer Ausdehnung. Er besitzt eine Teilungsperiode von 20 µm. Er ist mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode vergleichbar und bietet eine Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±1 μm bei einer Länge von 1,5 m. ZeroMet besitzt einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 0,75 ±0,35 μm/m/°C bei 20 °C. Konstrukteure können zwischen speziellem UHV-kompatiblem Klebstoffband oder Montageklammern wählen, je nach Anforderung. Beide Montagemethoden erlauben eine vom Untergrund unabhängige thermische Ausdehnung.