Verarbeitungsanlage für Glas BatchGlass LF HTX

zum ÄtzenNass

Der BatchGlass LF HTX ist eine halbautomatische Nassbearbeitungsanlage für Glassubstrate. Diese Anlage kann Substrate von kleinen Wafern bis hin zu 600 x 600 mm großen Platten bearbeiten. Im Batch-Verfahren können Platten bis zu 600 x 600 mm geätzt, gereinigt und getrocknet werden. Das Ätzen unter speziellen Bedingungen ermöglicht eine sehr hohe Selektivität des Ätzens. RENA bietet spezielle Vor- und Nachreinigungsverfahren an, die eine Konditionierung der Substrate für das Ätzen und eine intensive Reinigung nach dem Ätzen ermöglichen. Nachreinigungsverfahren sind besonders wichtig für Glassubstrate mit kleinen und tiefen Hohlräumen. Ein ausgeklügeltes Tankdesign in Verbindung mit einer optimierten Strömung gewährleistet eine hervorragende Homogenität des Ätzens. Dies ist entscheidend für kombinierte Laser- und Ätzanwendungen, wie z.B. Through Glass Vias (TGV) für die Verpackungsindustrie. Merkmale und Vorteile Bearbeitung von großformatigen Platten bis zu 600 x 600 mm Optimiertes Tankdesign und Durchfluss für hervorragende Homogenität der Ätzung Optimierte Stellfläche und kompaktes Design 24/7 Betrieb und einfaches Up-Scaling des Prozesses Höchste Oberflächenreinheit und optimierte Vor- und Nachreinigung