Verarbeitungsanlage für Solarzellen InPolySide® 3+

chemisch

InPolySide® 3+ ermöglicht hochpräzises Rückseiten- und Kantenätzen für TOPCon-Anwendungen. Poly-Si-Wraparound-Kontamination aus LPCVD und PECVD wird entfernt. Das Tool mit seinem hohen Durchsatz und der hohen Flexibilität bei der Wafer-Größe ist für die nächste Solarzellengeneration bereit. InPolySide® ist als platzsparende Ein-Maschinen-Lösung ausgelegt und ermöglicht die Schritte Vor-Oxidätzen, Polyätzen, Reinigungs- oder Glasätzen und Spülen. Es sind keine zusätzlichen Wafer-Handhabungsvorgänge nötig. Anwendungsbereiche TopCon-Technologie Upgrade von PERC möglich Einzelseiten- und Kantenätzen von Poly-Si Funktionen und Vorteile Kantenätzen für parallelwiderstandsfreie TopCon-Zelle Hoch variabler und bewährter Prozess, anpassbar an den Kundenbedarf: - Niedriger CoO-Gehalt - N-Typ-Zellen - Selektiver Emitter für alle verfügbaren Arten von Poly-Si (PECVD, LPCVD) Von RENA patentierter Prozess Hoch optimierte Hardware-Konfiguration und Prozesseinstellungen 1-Maschinen-Lösung