Isopropanol-Trockner VaporDry

ChargenKlarspülReinigung

Der RENA VaporDryer integriert den IPA-Trocknungsprozess mit Reinigung und Spülung zu einem einstufigen Verfahren. Er ist eine ideale Lösung für die Verdrängung von Wasser aus Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und Through Silicon Vias (TSVs) sowie für die effektive Trocknung komplexer Oberflächen. VaporDry kann in RENA-Batch-Immersionsplattformen integriert werden. Dieser Trockner kann sowohl für FEoL- als auch für BEoL-Anwendungen eingesetzt werden. Der gesamte Prozess wird durch die fortschrittliche IDX Flexware Prozesssteuerungssoftware von RENA überwacht und gesteuert. Funktionen und Vorteile Niedrigere Kosten im Vergleich zu Marangoni-Trocknern 85 % weniger IPA-Verbrauch im Vergleich zu Dampftrocknern mit kochendem Sumpf Robuste, zuverlässige und praxiserprobte Leistung Hervorragende Partikelleistung ( 750 µm Kleine Stellfläche