Diese Ausrüstung wird für das doppelseitige Schleifen von Halbleiter-Siliziumscheiben verwendet. 35 Stück 8-Zoll-Silizium-Wafer oder 15 Stück 12-Zoll-Silizium-Wafer können auf einer Platte platziert werden. Mit dem hydrostatischen Drehtisch, ist es mit folgenden Vorteilen wie starke Lagerkapazität, geringe Verlustleistung und lange Lebensdauer, etc. gekennzeichnet; darüber hinaus kann sein Schmiermittel Rollen der Schwingungsdämpfung und Fehler Mittelwertbildung mit hoher Präzision und gute Präzision Sicherheit spielen.
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