Glockenofen EKZ 3000

Kristallwachstumelektrischfür Gussblock

Im Vergleich zu den bisherigen Tiegelziehanlagen ist mit dem Konzept und der Ausführung der 300mm-Anlage ein bedeutender Sprung in der Entwicklung gelungen. Die Anlage wurde unter Berücksichtigung aller bis dahin gesammelten Erkenntnisse und enger Einbeziehung des Know Hows unserer Kunden weltweit entwickelt. Diese Anlagen erfüllen ausnahmslos die Voraussetzungen, welche aus den hohen Anforderungen an die Kristallqualität resultieren. Die Einwaage bei dieser Anlage für 300mm (12") liegen bei bis zu 450kg Poly-Silizium und die sich hieraus ergebenden Kristalllängen bei annähernd 2,2m.