Gasrückgewinnungssystem ArgonØ ™

per Ansaugung

Der ArgonØ ™ recycelt Gas in einem geschlossenen Kreislauf aus einer begrenzten Anzahl von Prozesswerkzeugen. Dies bietet den großen Vorteil einer einfachen, unkomplizierten Nachrüstung in bestehenden Wafer-Fertigungsanlagen und ermöglicht eine schrittweise Installation in Übereinstimmung mit den Prozesswerkzeugen in neuen "Ground-up"-Anlagen. Das ArgonØ™-System führt >95 % des Ofenabgases mit einem Reinheitsgrad, der die Anforderungen der Semi PV6-1110 übersteigt, in den Prozess zurück und entfernt so 1.000 ppm Verunreinigungen im Prozess. Das ArgonØ ™ wurde für die Rückgewinnung, Reinigung und Wiederverwendung von Spülgas aus Vakuumöfen (CZ und DS) entwickelt, die für die Züchtung von Siliziumblöcken für die Weiterverarbeitung zu kristallinen Solarzellen verwendet werden. Das System kommt sowohl mit ölgedichteten als auch mit trockenen Vakuumpumpen zurecht, die zum Evakuieren der Öfen verwendet werden, und nutzt eine gemeinsam mit der Universität Cambridge entwickelte Technologie, die Rückgewinnungsraten von mindestens 95 % ermöglicht. Die Reinheit des recycelten Argongases übertrifft die Norm SEMI PV6-1110. Das System ist ein Point-of-Use-System und kann an mehrere Vakuumöfen angeschlossen werden, wobei der maximale Durchfluss von ca. 15 Nm3/Std. nicht überschritten werden darf. Dies ermöglicht eine problemlose Nachrüstung bestehender Vakuumöfen sowie eine schrittweise Installation in neuen Einrichtungen, die mit der Installation der Vakuumöfen einhergeht. Mit einem Return on Investment (ROI) von 2-3 Jahren bietet das ArgonØ ™ ein ausgezeichnetes Preis-Leistungs-Verhältnis, und wenn auch Helium recycelt wird, verbessert sich der ROI weiter auf typischerweise 6-12 Monate. Darüber hinaus reduziert das ArgonØ ™ den CO2-Fußabdruck eines typischen Vakuumofens um 3-5 Tonnen pro Jahr und verbessert die Versorgungssicherheit.