Linearer Positionssensor

kontaktlosLaseroptisch

Der Pinpoint von Prodrive Technology bietet eine hochgenaue Positionsmesslösung für präzise Bewegungssysteme. Der Pinpoint ist ideal für (Vakuum-)Tische, bei denen es auf hohe Zuverlässigkeit und lange Verfügbarkeit ankommt. Unsere Lösung bietet eine Synchronisierung mit einer Latenzzeit von weniger als einer Nanosekunde und eine absolute Positionsmessung. Wir kombinieren dies mit kompromisslosen digitalen Integrationsoptionen für eine nahtlose Synchronisation zwischen dem Mess- und dem Bewegungssteuerungssystem. Das optische Know-how von Prodrive bietet innovative Interferometerlösungen, die sich auf die Senkung der TCO (Total Cost of Ownership) für unsere OEM-Ausrüstungspartner konzentrieren; sie reduzieren die direkten Kosten der Systeme und sorgen gleichzeitig für niedrigere Betriebs- und Wartungskosten. Seit über zwei Jahrzehnten ist Prodrive Technologies ein Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionspartner für die Halbleiterindustrie. Durch die Kombination dieser Erfahrung mit unserem robusten Qualitätsmanagementsystem wissen wir, was es braucht, um eine exakte Kopier- und Änderungskontrolle zu implementieren und unsere Lösungen vom Konzept bis zum Ende der Lebensdauer und darüber hinaus zu unterstützen. Anzahl der Sensorachsen pro MU - 1 - 6 Arbeitsabstand - 0 - 6000 mm Messobjekt-Geschwindigkeit - 0 - 1 m/s Sensorauflösung - 25 pm Sensorwiederholgenauigkeit - 200 pm (unter Vakuumbedingungen) Messbandbreite pro Achse - 40 MHz (optisch) 5 MHz digitaler Ausgang Signalstabilität (2,5s) - 0,1nm Thermische Drift - < 50nm / C Messmodi und Merkmale Standardmodus - Relative Verschiebung single ended Differenzielle Messung - inbegriffen Software für Referenzierungsfunktion - inbegriffen Absolute Abstandsmessung - Enthalten; 20s Sensorausrichtung - Manuell am Sensorkopf Zielausrichtung - Sichtbarer Laser (600nm)