Stromgenerator Bias

SpannungRF

Maßgeschneiderter Bias-Wellenform-Generator für RF-Plasmasysteme Prodrive Technologies stellt seinen revolutionären Generator für maßgeschneiderte Vorspannungswellenformen vor, der eine direkte Steuerung der Energieverteilung der Mantelionen bei der Plasmabearbeitung ermöglicht. Der maßgeschneiderte Wellenformausgang bietet eine unabhängige Kontrolle über Strom und Spannung und wird in Echtzeit gemessen. Diese direkte Steuerung der Mantel-Ionenenergie verbessert die Kontrolle und Präzision von Ätz- und Abscheidungsprozessen im Vergleich zu konventionellen HF-Vorspannungen erheblich und ermöglicht die individuelle Anpassung der Ionenenergieverteilung, um sehr enge Verteilungen und die Eliminierung von Spitzen zu ermöglichen. Dies führt zu einer optimierten Prozessgeschwindigkeit und maximaler Selektivität für empfindliche Merkmale. Außerdem wird der Energieverbrauch der Vorspannung gesenkt, was die Effizienz des Systems im Vergleich zu herkömmlichen Technologien erhöht. -Enge Ionen-Energieverteilung mit Eliminierung von Spitzenwerten -Maximale Kontrolle der Vorspannungsbedingungen mit Echtzeit-Wellenformüberwachung -Schnelle Integration in konventionelle RF-Systeme -Proprietäres Autotuning der Wellenform Video zur Vorspannung des Plasmagenerators Dieses Video zeigt schematisch, wie die maßgeschneiderte Wellenformvorspannung funktioniert.