Gasanalysator TIGER OPTICS™ T-I MAX™

WasserstoffChloridÜberwachung

CHLORWASSERSTOFF-GASANALYSATOR DER NÄCHSTEN GENERATION Sie können lange nach luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (Airborne Molecular Contaminants, AMCs) "suchen", wenn die katastrophale Produktleistung oder der Ausbeuteverlust in der Endtestphase Ihres Geräts entdeckt wird; oder Sie können unseren TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl-Analysator einsetzen, um diese unsichtbaren Defektgeneratoren zu lokalisieren und zu überwachen, die häufig in und um Geräte, Personal, Waferträger und Reinraumbuchten herum lauern. Bei der modernen Halbleiterverarbeitung sind die Restgase, Dämpfe und Chemikalien, die von den verschiedenen Materialien, den beschleunigten Verarbeitungsprozessen sowie der Lagerung und dem Transport der Substrate ausgehen, zu einem kritischen Problem geworden. Dies geht so weit, dass die International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) die AMC-Kontamination als eine der wichtigsten technischen Herausforderungen bei der Erreichung und Aufrechterhaltung niedriger Fehlerquoten bei Bauelementen hervorhebt. Die T-I Max HCl-Analysatoren, die auf unserer neuen globalen Plattform basieren, können HCl mit einer noch nie dagewesenen Kombination aus Empfindlichkeit, Selektivität und Reaktionsschnelligkeit nachweisen und kontinuierlich überwachen, wobei das Hauptaugenmerk auf den wichtigsten Faktoren liegt, die zur chemischen Kontamination" von AMCs beitragen. Unser GO-cart für AMCs bietet zusätzliche Flexibilität, da es eine mobile Plattform darstellt, die schnell zu verschiedenen kritischen Überwachungspunkten transportiert werden kann. VORTEILE Empfindliche, absolute Messtechnik unter Verwendung der Cavity-Ring-Down-Spektroskopie (CRDS) Dramatisch verbesserte Reaktionsgeschwindigkeit und Nachweisgrenzen im Promillebereich Driftfrei, mit rückverfolgbarer Kalibrierung durch die weltweit führenden Referenzlabors Geringste Betriebskosten - wartungsfrei