CO-Analysator VeraSpec™ APIMS-SX5

GasCH4Wasser

Halbleiterhersteller müssen in der Lage sein, die Reinheit von Prozessgasen kontinuierlich in Echtzeit zu überprüfen und Spuren von Verunreinigungen in Konzentrationen von wenigen Teilen pro Billion (ppt) zu erkennen. Überwachen Sie eine breite Palette von Gasen und Gasgemischen mit einer Stabilität, die die in den meisten Anwendungen erforderliche langfristige Wiederholbarkeit gewährleistet. Fragen Sie nach unserem APIMS SX5 mit Stream Switcher-Funktionen. -Elegante Stromumschaltung für die Überwachung ultrahochreiner Bulk-Gase Multispezies-Echtzeitüberwachung für ALLE kritischen Verunreinigungen in elektronischen Bulk-Gasen, einschließlich Spuren von O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar und mehr - NEU! Optionale automatische Stromumschaltung mit dem SX5-Stream-Switcher-Gasschrank. Automatisches Umschalten zwischen bis zu fünf Bulk-Gasen! - Einzigartiger Messbereich von PPT bis 100% mit einzigartiger Dual-Source-Ionisationskonfiguration - Einfache Bedienung mit integrierter Benutzeroberfläche und geplanten automatischen Kalibrierungen - Branchenbester Kundensupport und Anwendungsteam