Sauerstoffanalysator EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4Wasser

Unser EXTREL™ VeraSpec™ Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometer (APIMS) wurde für zuverlässige und wiederholbare Nachweisgrenzen von wenigen Billionen Teilen für die Kontaminationskontrolle in ultrahochreinen (UHP) Gasen entwickelt, die in der Halbleiterindustrie und anderen High-Tech-Industrieanwendungen verwendet werden. Verunreinigungen sind kostspielig, und seit mehr als 20 Jahren ist das APIMS der Forschungs- und Industriestandard für die Online-Detektion von schwachen Komponenten in Gasmischungen. Unser VeraSpec APIMS verwendet einen 19-mm-Quadrupol-Massenfilter mit drei Filtern für die Halbleitergasanalyse und bietet damit beste Leistung, Zuverlässigkeit und Betriebszeit. Branchenweit beste untere Nachweisgrenzen (LDLs) für die Bulk-Gasanalyse Multispezies-Überwachung in Echtzeit für ALLE kritischen Verunreinigungen in Bulk-Gasen, einschließlich Spuren von O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe und mehr Bewährte, leistungsstarke Massenspektrometrie-Technologie Einzigartiger Messbereich von PPT bis 100% mit einzigartiger Dual-Source-Ionisationskonfiguration Halbleiterhersteller müssen in der Lage sein, die Reinheit von Prozessgasen kontinuierlich in Echtzeit zu überprüfen und Spurenverunreinigungen in Konzentrationen von wenigen Teilen pro Billion (ppt) zu erkennen. Überwachen Sie eine breite Palette von Gasen und Gasgemischen mit der Stabilität, die in den meisten Anwendungen für eine langfristige Wiederholbarkeit erforderlich ist. Fragen Sie nach unserem APIMS SX5 mit Stream Switcher-Funktionen.