Der Scanner ist eine Kombination von Optik und Bewegungssystem. Zwei drehbare Spiegel im Scannerkopf lenken den Strahl in x- und y-Richtung ab. Da mit den Spiegeln nur wenig Masse bewegt wird, sind Geschwindigkeiten von einigen Metern pro Sekunde und damit ein quasisimultaner Prozess möglich.
Die Ausgangslinse (f-theta Linse) bestimmt die Grösse des Scanfelds, das 100 x 100 mm, 240 x 240 mm oder 350 x 350 mm gross sein kann.