Grossformat-Positioniertisch H116

XYmotorisiert2-Achs

Der H116/2-Tisch ist für das Scannen von Halbleiterwafern, Fotomasken, Flachbildschirmen und Leiterplatten mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm (8-Zoll) ausgelegt. Er verfügt außerdem über einen 10-Zoll-X-Achsen-Verfahrweg, um das sichere Laden von Proben zu erleichtern, und ist mit Durchlichtanwendungen kompatibel. Darüber hinaus unterstützt der Tisch eine Tragfähigkeit von 25 kg und ist damit in der Lage, große und komplexe industrielle Proben über diesen großen Verfahrbereich präzise zu positionieren. Ausgestattet mit Prior's patentierter Intelligent Scanning Technology (IST) zur Optimierung von Tischgenauigkeit, Linearität und anderen Leistungsmerkmalen, in Kombination mit einer 2 mm Kugelumlaufspindel zur Erhöhung der Geschwindigkeit, ist der HE12/2ST für das zuverlässige und effiziente Scannen sehr großer industrieller Proben optimiert. Alternative Antriebskonfigurationen für eine noch höhere Geschwindigkeit sind je nach Region erhältlich.