Positioniertisch für Mikroskope H112

XYmotorisiert2-Achs

Der Tisch H112/2ST ist für das Scannen von Halbleiterwafern, Fotomasken, Flachbildschirmen und Leiterplatten mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm (12 Zoll) ausgelegt. Darüber hinaus unterstützt der Tisch eine Tragfähigkeit von 25 kg, wodurch er in der Lage ist, große und komplexe industrielle Proben über diesen großen Verfahrbereich präzise zu positionieren. Durchlichtanwendungen, wie z. B. das Infrarot-Scannen von Wafern, werden ebenfalls bis zu einem Durchmesser von 250 mm unterstützt. Sein schlankes und leichtes Design ermöglicht eine einfache Integration in kundenspezifische Mikroskope. Ausgestattet mit der von Prior patentierten Intelligent Scanning Technology (IST) zur Optimierung von Tischgenauigkeit, Linearität und anderen Leistungsmerkmalen in Kombination mit einer 2 mm Kugelumlaufspindel zur Erhöhung der Geschwindigkeit, ist der H112/2ST für das zuverlässige und effiziente Scannen sehr großer industrieller Proben optimiert. Alternative Antriebskonfigurationen für eine noch höhere Geschwindigkeit sind je nach Region erhältlich. Dieser Tisch kann auch auf großformatige Nikon und Evident/Olympus Mikroskope montiert werden und ist mit Nikon und Evident/Olympus Software kompatibel (entsprechendes Paket erforderlich).