„ Einschränkende Fluss-Produkte (RFP) sind einschränkende Fluss-Öffnungen mit einer einzelnen Öffnung oder Sintermetall-Durchflussbegrenzer mit Hunderten von kleinem, Mikrometer sortierten Durchgänge. Diese sind die Mengenbegrenzer, die benutzt werden, um einen unbeaufsichtigten Fluss von hoher Reinheitsgrad-Halbleiter-Prozess-Gasen zu verhindern.
Mengenbegrenzer sind in komprimierte Gasversorgungssysteme oder in Gasverteilungsvielfältigkeit installiert, um eine hohe Gasflussspitze zu steuern. Unbeabsichtigter hoher Gasfluß wird durch den Abbruch einer Gasversorgungsversorgungslinie, des versagenden Ventils oder des Ausfalls eines Druckreglers verursacht möglicherweise.
Unsere Sinterflo®-Sintermetall-Durchflussbegrenzer sind in hohem Grade zuverlässige, niedrige Kosten, Steuerung- des Datenflussesteile, die eine schnelle Anlagenrendite für eine Benutzungsmöglichkeit zur Verfügung stellen. Diese können vom Edelstahl 316L, vom Nickel, von Hastelloy® C22, von Hastelloy® C276 und von anderen Temperatur- und korrosionsbeständigenmaterialien hergestellt werden.
Halbleiter-Industrie, Gebäude und Feuerschutzbestimmungen-Befolgung
RFP können unterstützen, in mit Richtlinien der Sicherheits-S5-0310 für das Bearbeiten und die Bestimmung von Mengenbegrenzern für Gasflaschenventile, Standard NFPA 318 für Schutz von Halbleiter-Herstellungs-Anlagen, von Speicher CGA G-13 und von Behandlung des Siliziumwasserstoffs und anderer Gassicherheit standards. \ /html HALB einwilligen“
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