Optisches Mikroskop MSA-060

für Analysekompaktkleinformatig

Vollflächige Schwingungsmessung kleiner Bauteile & Mikrostrukturen Der MSA-060 Micro System Analyzer ist ein kompaktes optisches Messsystem für die berührungsfreie Untersuchung des Schwingverhaltens von MEMS und Mikrosystemen, der Dynamik von Feinmechanik-Komponenten sowie der Zuverlässigkeit von Elektronik. Diese Einstiegslösung hilft bei der Ermittlung von Resonanzfrequenzen und Schwingungsamplituden und visualisiert die Schwingform von Proben vollflächig. Das MSA-060 ist für die berührungslose wie flächenhafte Schwingungsanalyse konzipiert und erfasst die reale Bauteildynamik von sehr kleinen und empfindlichen Teststrukturen. Die leistungsstarke Datenerfassung VibSoft-PRO ergänzt das Messsystem um Referenzkanal und Signalgenerator. Der optionale xy-Tisch ermöglicht das Scannen ganzer Probenoberflächen und liefert so Echtzeit-Schwingungsdaten mit Pikometer-Auflösung auf einer erweiterten Bandbreite von DC bis 24 MHz. Kompaktes Schwingungsmesssystem mit Laserpräzision Echtzeit-Response Schwingungsmessung bis zu 24 MHz Amplitudenauflösung (out-of-plane) im Picometerbereich Einfaches Setup und Dokumentation mit integrierter HD+ Kamera Leistungsstarke Datenerfassung mit Referenzkanal und Signalgenerator Scanning-Option mit motorisiertem xy-Tisch Software für Datenanalyse und animierte Schwingformen